Технология Minimal Fab

Технология Minimal

Стандарт Minimal
Система загрузки PLAD
Контейнер Minimal
Компоненты

Компактные полупроводниковых линий имеют единое стандартное шасси в формате Minimal размером 300мм Х 450мм Х 1440мм (ШхГхВ), роботизированную систему загрузки подложки, систему управления и способ подключения для всех устройств:

(1) Интерфейс управления и управляющий компьютер.
(2) Место для загрузки контейнера Minimal Shuttle.
(3) Система PLAD для извлечения подложки из капсулы и перемещения внутри устройства.
(4) Блок технологического процесса и хранения расходных материалов.
(5) Блок внешнего подключения.
(6) Блок утилизации расходных материалов.

Унифицированный способ внешнего подключения для всех устройств Minimal:

Для всех модулей Minimal была разработана роботизированная, унифицированная транспортная система загрузки подложки PLAD (Particle Lock Air-tight Docking – система герметичной стыковки и блокировки частиц).

В зависимости от типа оборудования и технологического процесса существуют два типа загрузочных систем PLAD: атмосферного и высоковакуумного типа.

Оборудование Minimal Fab не требует чистых комнат. Вместо этого, подложку помещают в безопасный контейнер с чистой комнатой внутри (называемый «Minimal Shuttle») и загружают в камеру технологического процесса с помощью загрузочной системы PLAD. Таким образом при переходе из одного технологического оборудования в другому подложка всегда остается в чистой комнате, т.е. в контейнере.

Прозрачный красный материал контейнера Minimal делает подложку видимой и защищает от ультрафиолетового излучения.

Для всех технологических процессов используется один тип контейнера. В случае процессов корпусирования, контейнер Minimal отличается лишь диаметром столика держателя подложки.

	Перечень доступных подложек для технологии Minimal Fab: Si, кремний на изоляторе SOI, GaAs, GaN, Ga₂O₃, сапфир, алмаз, кварц, боросиликатное стекло.
	Футляр для транспортировки на 40 подложек.
	Лоток для подложек на 60 штук.
	Ручной открыватель для контейнера Minimal.
	Держатель для очистки подложек на 40 штук.