Sputtering Установка высокоэнергетического импульсного магнетронного распыления

Ion Beam Sputtering
Установка ионно-лучевого распыления.

TiN PVD
Установка физического вакуумного осаждения TiN.

Multi-Target Sputtering (1) Высокоскоростная система распыления под низким давлением с использованием геликон-волновой плазмы.

Multi-Target Sputtering (2)
Установка распыления на 3 мишени.

Multi-Target Sputtering (3)
Установка распыления на 3 мишени.