TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории Евразии
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
E-mail:
main@tokyo-boeki-ea.com

Minimal LP-CVD

Minimal LP-CVD - Установка химического парофазного осаждения при пониженном давлении с использованием метода резистивного нагрева.
Осаждение пленки поли-Si, SiN.