TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal LP-CVD

Minimal LP-CVD - Установка химического парофазного осаждения при пониженном давлении с использованием метода резистивного нагрева.
Осаждение пленки поли-Si, SiN.