Minimal Diffusion Furnace
Minimal Diffusion Furnace - Установка термического отжига и диффузии. Отличная температурная стабильность и равномерность с незначительными отклонениями поверхности пластины.
Рис. 1. Общая структура установки Minimal Diffusion Furnace.
Печь
Нагревательная часть
Система газоподачи
Спецификация
| Размеры и вес оборудования | |
|---|---|
| Размеры | Ш х В х Г:294х1440х450 мм |
| Вес | 90 – 120 кг, в зависимости от спецификации |
| Подключение | |
| Питание | 1 фаза, ~100В, 10А, 50/60 Гц |
| Газ | Сжатый воздух, N2 |
| Рабочий газ | Встроенный баллон O2, 1 л, 9.8 МПа |
| Конфигурация устройства | |
| Система загрузки подложки | Air PLAD |
| Подложка | 12,5 мм |
| Метод нагрева | Резистивный |
| Максимальная мощность | 700 Вт |
| Мощность при постоянной температуре | 400 Вт (1100°C) |
| Управление нагревом | Тиристор |
| Контроль температуры | 2-х каскадный метод ввода термопар |
| Точность контроля | 50~1200°C |
| Диапазон управления | ±0.5°C (600~1200°C) |
| Материал трубки | Высокочистыйкварц |
| Процессы | Термическое окисление (сухое) Термодиффузия Отжиг Спекание |
Литература:
1. Nakato Katsuhiko, Fumito Imura, Hitoshi Asano, Shinnosuke Suzuki, Shogo Matsuda, Ayami Yaginuma, Kiyohiko Morikawa, Masashi Hattori, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Electric properties of thermal oxide formed by minimal resistance furnace (III). Proceedings of the 62nd JSAP Spring Meeting, 2015, 14p-A29-3.
2. S. Suzuki, Development of Thermal Processing Tool for Minimal Fab. JTEKT ENGINEERING JOURNAL (English Edition), 2017, No.1014E, p.14.