TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Laser Heating

Minimal Laser Heating - Установка лазерного отжига с нагревом обратной стороны подложки.
Обеспечивает динамическое отслеживание температуры процесса с точным контролем температуры. Длительный срок службы лазера и снижение затрат на обслуживание.


Рис. 1. Общая структура установки Minimal Laser Heating.

Пример отжига подложки:

Отжиг подложки двумя лазерами для равномерного и однородного нагрева:


Облучение подложки одним лазером

Облучение подложки двумя лазерами

Спецификация

Размеры и вес оборудования
Размеры Ш х В х Г:294х1440х450 мм
Подключение
Питание 1 фаза,~100В, 10А, 50/60 Гц
Газ Сжатый воздух, N2
Рабочий газ Встроенный баллон
Конфигурация устройства
Мощность лазера макс. 130Вт + 80 Вт
Длина волны лазера 880 нм +940 нм
Система загрузки подложки Air PLAD
Подложка 13 мм
Откачка Диафрагменный насос
Нагрев Лазерный
Процессы Термическое окисление(сухое).
Термодиффузия. Отжиг. Спекание.

Литература:
1. Yongxun Liu, Kazushige Sato, Hiroyuki Tanaka, Kazuhiro Koga, Sommawan Khumpuang, Masayoshi Nagao, Takashi Matsukawa, and Shiro Hara, "RTA-Temperature Dependence of Electrical Characteristics of PVD-TiN Metal Gate SOI-MOSFETs Fabricated on Half-Inch Minimal Wafers", International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), Tokyo, 2018/9.