Роботизация производства
Стандарт оборудования Minimal Fab позволяем организовать роботизацию процесса производства ИС. Всю линейку Minimal Fab можно установить встык друг к другу и установить роботизированную систему переноса шаттла с подложкой внутри от процесса к процессу.
Роботизированная система переноса шаттла, тип 1.
![](/assets/templates/main/img/equipment/robotizaciya-proizvodstva/production-robotization-1.jpg)
Роботизированная система переноса шаттла, тип 2.
![](/assets/templates/main/img/equipment/robotizaciya-proizvodstva/production-robotization-2.jpg)