Роботизация производства

Стандарт оборудования Minimal Fab позволяем организовать роботизацию процесса производства ИС. Всю линейку Minimal Fab можно установить встык друг к другу и установить роботизированную систему переноса шаттла с подложкой внутри от процесса к процессу.

Роботизированная система переноса шаттла, тип 1.

---

Роботизированная система переноса шаттла, тип 2.