TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Роботизация производства

Стандарт оборудования Minimal Fab позволяем организовать роботизацию процесса производства ИС. Всю линейку Minimal Fab можно установить встык друг к другу и установить роботизированную систему переноса шаттла с подложкой внутри от процесса к процессу.

Роботизированная система переноса шаттла, тип 1.


Роботизированная система переноса шаттла, тип 2.