Minimal CD-SEM

Minimal CD-SEM - Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией.
Minimal CD-SEM позволяет проводить измерения размера рисунков резиста, контроль качества нанесенных слоев и морфологии поверхности. Простое и легкое измерение точного рисунка устройства осуществляется с помощью прилагаемого программного обеспечения.

Спецификация

Размеры и вес оборудования
Размеры	Ш х В х Г:294х1440х450 мм
Вес	120 кг
Подключение
Питание	1 фаза, ~100В, 4А, 50/60 Гц
Сжатый воздух	0,45 – 0,8МПа
Конфигурация устройства
Система загрузки подложки	Vac PLAD
Подложка	12,5 мм
Столик	X-Y-Z-R, моторизированный
Производительность колонны
Разрешение	2 нм при 5кВ
Увеличение	20 ̴ 500 000 крат
Ток зонда	1 пА ̴ 1нА
Детектор	Детектор вторичных электронов