TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal CD-SEM

Minimal CD-SEM - Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией.
Minimal CD-SEM позволяет проводить измерения размера рисунков резиста, контроль качества нанесенных слоев и морфологии поверхности. Простое и легкое измерение точного рисунка устройства осуществляется с помощью прилагаемого программного обеспечения.

Спецификация

Размеры и вес оборудования
Размеры Ш х В х Г:294х1440х450 мм
Вес 120 кг
Подключение
Питание 1 фаза, ~100В, 4А, 50/60 Гц
Сжатый воздух 0,45 – 0,8МПа
Конфигурация устройства
Система загрузки подложки Vac PLAD
Подложка 12,5 мм
Столик X-Y-Z-R, моторизированный
Производительность колонны
Разрешение 2 нм при 5кВ
Увеличение 20 ̴ 500 000 крат
Ток зонда 1 пА ̴ 1нА
Детектор Детектор вторичных электронов