TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Chemical Server

Minimal Chemical Server - Установка предназначенная для автоматического приготовления/смешения и контроля состава химических растворов, которые используются в установках Miminal Fab для травления и отмывки пластин.

Описание:
- Безопасная поставка химикатов, необходимых для оборудования Miminal Fab.
- Внутренняя часть сервера химического раствора продувается азотом, чтобы предотвратить окисление химического раствора.
- Количественная точность подачи химикатов менее ± 1см3 (при поставке 100 см3).
- Химический раствор можно перелить в бутылку, предназначенную для устройства, просто поместив ее с закрытой крышкой.
- Функция автоматической очистки форсунок подачи химикатов.
- Может использоваться в общих помещениях благодаря своей герметичной конструкции.
- Встроенные 2 вида химикатов.
- Два встроенных механизма переноса химикатов в корпусе шириной 294 мм.
- Встроенный механизм химического переноса.
- Компактный и совместимый с различными химическими веществами.


Рис. 1. Общая схема установки Minimal Chemical Server.

1. Контрольное оборудование.
2. Бак для промывочной воды.
3. Бутылка для оборудования Miminal Fab.
4. Механизм крепления / снятия крышки.
5. Бутылка неразбавленного раствора.
6. Бак для отработанной жидкости.
7. Механизм химического переноса.
8. Блок очистки.
9. Выхлопной фильтр.
10. Подключение к сети.