TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal ECR Etcher

Minimal ECR Etcher - Устройство для высокоскоростного травления Si для создания TSV - соединении для 3D-IC.
Система травления с использованием ультракомпактного плазменного источника на основе технологии квазирезонансного электронного циклотронного резонанса.