Minimal ECR Etcher
![](/assets/templates/main/img/equipment/specialnogo-naznacheniya/minimal-ecr-etcher/ustrojstvo-vysokoskorostnogo-travleniya-si-1.jpg)
Minimal ECR Etcher - Устройство для высокоскоростного травления Si для создания TSV - соединении для 3D-IC.
Система травления с использованием ультракомпактного плазменного источника на основе технологии квазирезонансного электронного циклотронного резонанса.