Minimal 3D Microscope

Minimal 3D Microscope - Многофункциональный микроскоп, который позволяет проводить 2D/3D субнанометровые измерения поверхности.

Описание:

- Микроскоп для интерферометрии в белом свете.
- Многофункциональный микроскоп с двумя типами увеличения / вертикальным разрешением: малое увеличение (30 мкм), большое увеличение (0,44 мкм).
- Доступны 3D- или 2D-анализ данных, измерение толщины пленки и получение цветного изображения.
- Всю пластину можно измерить за одну операцию при малом увеличении.
- Идеально подходит для подтверждения качества во время обработки, поскольку наблюдение возможно без открытия Minimal Shuttle.
- Одновременный вывод изображений наблюдений и данных измерений на USB.

 

Основная спецификация
Малое увеличение	Измерение суб. нм (шероховатость). 2D / 3D измерение в случайных точках.
Размер поля	Ø14 мм
Вертикальное разрешение	30 мкм
Большое увеличение	Измерение суб. нм (шероховатость). 2D /3D измерение в случайных точках.
Размер поля	□0,3 мм
Вертикальное разрешение	0,44 мкм
Разрешение по высоте
Режим определения фазы	0,1нм
Режим обнаружения пика сигнала	2нм
Режим освещения	Светлое поле, темное поле