TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal 3D Microscope

Minimal 3D Microscope - Многофункциональный микроскоп, который позволяет проводить 2D/3D субнанометровые измерения поверхности.

Описание:

- Микроскоп для интерферометрии в белом свете.
- Многофункциональный микроскоп с двумя типами увеличения / вертикальным разрешением: малое увеличение (30 мкм), большое увеличение (0,44 мкм).
- Доступны 3D- или 2D-анализ данных, измерение толщины пленки и получение цветного изображения.
- Всю пластину можно измерить за одну операцию при малом увеличении.
- Идеально подходит для подтверждения качества во время обработки, поскольку наблюдение возможно без открытия Minimal Shuttle.
- Одновременный вывод изображений наблюдений и данных измерений на USB.

 

Основная спецификация
Малое увеличение Измерение суб. нм (шероховатость).
2D / 3D измерение в случайных точках.
Размер поля Ø14 мм
Вертикальное разрешение 30 мкм
Большое увеличение Измерение суб. нм (шероховатость).
2D /3D измерение в случайных точках.
Размер поля □0,3 мм
Вертикальное разрешение 0,44 мкм
Разрешение по высоте
Режим определения фазы 0,1нм
Режим обнаружения пика сигнала 2нм
Режим освещения Светлое поле, темное поле