TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Grinder, Blade Dicer, Laminator

Minimal Grinder – Установка для шлифовки подложек со встроенной системой рециркуляции чистой воды.
Minimal Blade Dicer - Установка для резки пластин.
Minimal Laminator - Установка для ламинирования подложки при резке.

Система установок Minimal Grinder, Minimal Blade Dicer, Minimal Laminator образуют процесс DBG (Dicing Before Grinding - резка перед утонением), обратный стандартному процессу, при котором обратное утонение выполняется перед нарезкой пластины (подложки). В DBG процессе пластина разрезается наполовину глубины, а затем отделяется во время шлифовки. Этот метод позволяет разрезать пластину на матрице, сводя к минимуму шлифовку задней поверхности и поломку пластины. Поскольку шлифовка проходит на задней стороне подложки, пластина утоняется при сохранении высокой прочности матрицы. Кроме того, DBG процесс имеет преимущество и исключает риск поломки, связанный с перемещением тонких пластин, поскольку матрица уже отделена во время шлифовки.


Рис. 1. Схема процесса DBG.
Рис. 2. Пример теста процесса DBG с помощью оборудования Minimal Fab.