TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Evaporator

Minimal Evaporator - Установка электронно-лучевого испарения. Используется три источника испарения.
Мишени: Au/AuGe/Ni/Ti/Pt/Al и др.

Описание:
- Простая замена мишени напыления.
- Контроль толщины осаждаемой пленки в режиме реального времени.
- Функция охлаждения подложки.
- Низкое энергопотребление.


После нанесения на фоторезист.

После удаления резиста.

 


Рисунок 1. Структура установки электронно-лучевого испарения Minimal Evaporator.