Minimal Evaporator
![](/assets/templates/main/img/equipment/osazhdenie/minimal-evaporator/ustanovka-elektronno-luchevogo-ispareniya-1.jpg)
Minimal Evaporator - Установка электронно-лучевого испарения. Используется три источника испарения.
Мишени: Au/AuGe/Ni/Ti/Pt/Al и др.
Описание:
- Простая замена мишени напыления.
- Контроль толщины осаждаемой пленки в режиме реального времени.
- Функция охлаждения подложки.
- Низкое энергопотребление.
![](/assets/templates/main/img/equipment/osazhdenie/minimal-evaporator/ustanovka-elektronno-luchevogo-ispareniya-2.jpg)
![](/assets/templates/main/img/equipment/osazhdenie/minimal-evaporator/ustanovka-elektronno-luchevogo-ispareniya-3.jpg)
После нанесения на фоторезист.
![](/assets/templates/main/img/equipment/osazhdenie/minimal-evaporator/ustanovka-elektronno-luchevogo-ispareniya-4.jpg)
После удаления резиста.
![](/assets/templates/main/img/equipment/osazhdenie/minimal-evaporator/ustanovka-elektronno-luchevogo-ispareniya-5.jpg)
Рисунок 1. Структура установки электронно-лучевого испарения Minimal Evaporator.