Minimal Evaporator

Minimal Evaporator - Установка электронно-лучевого испарения. Используется три источника испарения.
Мишени: Au/AuGe/Ni/Ti/Pt/Al и др.

Описание:
- Простая замена мишени напыления.
- Контроль толщины осаждаемой пленки в режиме реального времени.
- Функция охлаждения подложки.
- Низкое энергопотребление.

 

Рисунок 1. Структура установки электронно-лучевого испарения Minimal Evaporator.