Minimal Optical Thickness Tester

Minimal Optical Thickness Tester - Установка оптического измерения толщины пленок.

Описание:

- Измерение толщины пленки.
- Оснащен компактным измерителем толщины пленки оптического интерференционного типа.
- Возможность измерения в любой точке (максимум 500 точек).
- Совместимость с различными тонкопленочными материалами.
- Измерение по линии.

 

Рис. 10. Отображение изображений настройки рецепта (слева) и результатов вывода (справа).

Литература:
1. Hiroshi NISHIZATO, Hiroshi IIDA, Takaaki MATSUDA, Shiro HARA. Interference Thickness Meter for Minimal Fab. HORIBA, Technical Reports, No.47 December 2016.