TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Wafer Surface Scanner

Minimal Wafer Surface Scanner - Установка измерения количества мелких частиц на пластине. Минимальный размер частиц: ?0,1 мкм.

Описание:

  • Сканирование и отображение в реальном времени на сенсорном дисплее.
  • Проверка работы дисплея.
  • Простое управление и быстрая работа.
  • Метод сканирования: спиральное сканирование.
  • Время измерения: в течение 1 минуты, включая транспортировку.
  • Воспроизводимость измерений: 90% и более.
  • Минимальный определяемый размер частиц: 0,1 мкм.
  • Лазер: полупроводниковый лазер 405 нм, 120 мВт или менее (класс 3B).

Общий вид измерительной части.

Пример результата измерения.

Литература:
1. Naoko TAJIMA, Sommawan KHUMPUANG, Shiro HARA, Kenjiro IIDA, Kensei EHARA, Hiromu SAKURAI. A Procedure for Making Particle Number Standard Wafers: Calibration of Wafer Surface Scanners. Earozoru Kenkyu, 31(4), 266–277.