TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal TXRF Tester

Minimal TXRF Tester - Установка измерения толщины металлической пленки (методом рентгеновской флуоресценции полного отражения).
Скорость измерение средней толщины TiN 30 нм за 30 секунд. Система позволяет проводить многоточечное измерение путем картирования, оснащена функцией измерения загрязнения металла на пластине.

Описание:

- Полностью автоматическое измерение.
- Оснащен функцией автоматического выравнивания.
- Отображение результатов измерений до 16 последних точек.
- Запоминает до 20 условий измерения.

Принцип измерения:

  • Флуоресцентный рентгеновский анализ полного отражения.
  • Измерьте энергию и интенсивность флуоресцентных рентгеновских лучей.
  • Сравните результаты измерений с калибровочной кривой, чтобы рассчитать толщину пленки.
  • Возможно бесконтактное и неразрушающее измерение.
  • Может измерять толщину сложных тонких пленок.