Minimal Сoater

Minimal Сoater - Установка нанесения фоторезиста.

Описание:

Установка Minimal Сoater предназначено для нанесения минимального покрытия и обеспечивает равномерное нанесение резиста и очистку кромок на 0,5-дюймовой подложке с использованием обычного метода центробежного покрытия в соответствии нашей оригинальной технологии.

Установка Minimal Сoater может быть использование для повторного нанесения покрытия.
Стабилизация 0,5-дюймовой круглой подложки для равномерного выравнивания в плоскости составляем 1 мкм. Внутренняя однородность поверхности: R <2,0%. Ширина удаления кромки (EBR): <0,5 мм.

Подложка покрытая резистом

Спецификация

Размеры и вес оборудования
Размеры	Ш х В х Г:294х1440х450 мм
Подключение
Питание	1 фаза,~100В, 10А, 50/60 Гц
Сжатый воздух	0,5 МПа, 20 л/мин
Азот (газ)	0,4 МПа, 5л/мин
Общий выхлоп	200 л/мин, 200 Па
Конфигурация устройства
Система загрузки подложки	Air PLAD
Задвижка	Заслонка резинового типа
Камера очистки	Закрытого типа, двухкамерная

Литература:
1. Sommawan Khumpuang, Hitoshi Maekawa, Shiro Hara, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2013, Vol.133, No.9, p.272-277.
2. Norio Umeyama, Atsushi Yamazaki, Takaaki Sakai, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Development of a Half-Inch Wafer for Minimal Fab Process, IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference Proceedings of Technical Papers, 2017, P-25, p.228.