TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Oxidation Furnace

Minimal Oxidation Furnace – Установка нагрева и окисления подложки резистивным методом (макс. 1200°C за 5 мин.). Отличная температурная стабильность и равномерность с незначительными отклонениями поверхности пластины.

Общая структура установки Minimal Oxidation Furnace:


Печь

Нагревательная часть

Система газоподачи

Пример процесса термического окисления:


Пример температурного профиля при процессе термического окисления.

Подложка Si после и до термообработки

Однородность толщины сухой оксидной пленки:
Условия обработки: 1100°C, 60 мин, O2 = 20сс.
Равномерность оксидной пленки: 106,8 нм±0,7%.

Спецификация

Размеры и вес оборудования
Размеры Ш х В х Г:294х1440х450 мм
Вес 90 – 120 кг, в зависимости от спецификации
Подключение
Питание 1 фаза, ~100В, 10А, 50/60 Гц
Газ Сжатый воздух, N2
Рабочий газ Встроенный баллон O2, 1 л, 9.8 МПа
Конфигурация устройства
Система загрузки подложки Air PLAD
Подложка 12,5 мм
Метод нагрева Резистивный
Максимальная мощность 700 Вт
Мощность при постоянной температуре 400 Вт (1100°C)
Управление нагревом Тиристор
Контроль температуры 2-х каскадный метод ввода термопар
Точность контроля 50~1200°C
Диапазон управления ±0.5°C (600~1200°C)
Материал трубки Высокочистый кварц
Процессы Термическое окисление (сухое)
Термодиффузия
Отжиг
Спекание

 


Сравнение основных характеристик модулей Minimal Fab:
Resistance Furnace, Focused Light Heating и Laser Heating.

 


Сравнение скорости нагрева и охлаждения в модулях Minimal Fab:
Resistance Furnace, Focused Light Heating и Laser Heating.

Литература:
1. Nakato Katsuhiko, Fumito Imura, Hitoshi Asano, Shinnosuke Suzuki, Shogo Matsuda, Ayami Yaginuma, Kiyohiko Morikawa, Masashi Hattori, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Electric properties of thermal oxide formed by minimal resistance furnace (III). Proceedings of the 62nd JSAP Spring Meeting, 2015, 14p-A29-3.
2. S. Suzuki, Development of Thermal Processing Tool for Minimal Fab. JTEKT ENGINEERING JOURNAL (English Edition), 2017, No.1014E, p.14.