TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Minimal Neutral-Beam Processing

Minimal Neutral-Beam Processing - Установка травления пучком нейтральных частиц. Используется высокоэнергетические ионы из плазмы. Сверхнизкое повреждение различных материалов за счет значительного подавления ультрафиолетового излучения от плазмы. Возможно анизотропное травление.