Minimal Neutral-Beam Processing

Minimal Neutral-Beam Processing - Установка травления пучком нейтральных частиц. Используется высокоэнергетические ионы из плазмы. Сверхнизкое повреждение различных материалов за счет значительного подавления ультрафиолетового излучения от плазмы. Возможно анизотропное травление.