Minimal Neutral-Beam Processing
![](/assets/templates/main/img/equipment/suxoe-travlenie/minimal-neutral-beam-processing/ustanovka-travleniya-puchkom-nejtralnyx-chastic-1.jpg)
Minimal Neutral-Beam Processing - Установка травления пучком нейтральных частиц. Используется высокоэнергетические ионы из плазмы. Сверхнизкое повреждение различных материалов за счет значительного подавления ультрафиолетового излучения от плазмы. Возможно анизотропное травление.