Acetone Cleaner
Minimal Acetone Cleaner - Установка очистки поверхности подложки ацетоном.
Описание:
Используя нашу оригинальную технологию, Minimal Acetone Cleaner использует обычный метод спинового покрытия для достижения процесса очистки 0,5-дюймовой поверхности подложки ацетоном и IPA (изопропиловый спирт).
- Система подачи и контроля ацетона сверхмалого количества позволяет очень точно контролировать подачу обрабатывающей жидкости, такой как жидкость для очистки и жидкость для травления.
- Функция автоматической подачи IPA.
- Технологическая зона обработки подложки представляет собой закрытую камеру с экологическим контролем.
- Вредные выхлопные газы, образующиеся в процессе обработки, обезвреживаются внутри оборудования.
Спецификация
| Размеры и вес оборудования | |
|---|---|
| Размеры | Ш х В х Г: 294х1440х450 мм |
| Подключение | |
| Питание | 1 фаза, ~100В, 10А, 50/60 Гц |
| Сжатый воздух | 0,5 МПа |
| Азот (газ) | 0,4 МПа |
| Общий выхлоп | 200 л/мин, 200 Па |
| Конфигурация устройства | |
| Система загрузки подложки | Air PLAD |
| Задвижка | Заслонка резинового типа |
| Камера очистки | Закрытого типа, двухкамерная |
| Используемые химикаты | |
| Общего пользования | ацетон и изопропиловый спирт |
| Процессорная камера | |
| Столик вращения | Подложка: 12,5 мм Максимальна скорость вращения:3 000 об/мин |
Литература:
1. Shiro Hara, SEAJ Journal 2014, 4 No. 145, p.20.
2. Norio Umeyama, Atsushi Yamazaki, Takaaki Sakai, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Development of a Half-Inch Wafer for Minimal Fab Process, IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference Proceedings of Technical Papers, 2017, P-25, p.228.