TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Acetone Cleaner

Minimal Acetone Cleaner - Установка очистки поверхности подложки ацетоном.

Описание:
Используя нашу оригинальную технологию, Minimal Acetone Cleaner использует обычный метод спинового покрытия для достижения процесса очистки 0,5-дюймовой поверхности подложки ацетоном и IPA (изопропиловый спирт).

  • Система подачи и контроля ацетона сверхмалого количества позволяет очень точно контролировать подачу обрабатывающей жидкости, такой как жидкость для очистки и жидкость для травления.
  • Функция автоматической подачи IPA.
  • Технологическая зона обработки подложки представляет собой закрытую камеру с экологическим контролем.
  • Вредные выхлопные газы, образующиеся в процессе обработки, обезвреживаются внутри оборудования.

Спецификация

Размеры и вес оборудования
Размеры Ш х В х Г: 294х1440х450 мм
Подключение
Питание 1 фаза, ~100В, 10А, 50/60 Гц
Сжатый воздух 0,5 МПа
Азот (газ) 0,4 МПа
Общий выхлоп 200 л/мин, 200 Па
Конфигурация устройства
Система загрузки подложки Air PLAD
Задвижка Заслонка резинового типа
Камера очистки Закрытого типа, двухкамерная
Используемые химикаты
Общего пользования ацетон и изопропиловый спирт
Процессорная камера
Столик вращения Подложка: 12,5 мм
Максимальна скорость вращения:3 000 об/мин

Литература:
1. Shiro Hara, SEAJ Journal 2014, 4 No. 145, p.20.
2. Norio Umeyama, Atsushi Yamazaki, Takaaki Sakai, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Development of a Half-Inch Wafer for Minimal Fab Process, IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference Proceedings of Technical Papers, 2017, P-25, p.228.