Acetone-IPA Cleaner

Minimal Acetone-IPA Cleaner - Установка очистки поверхности подложки ацетоном и изопропиловым спиртом.

Описание:

• Используя нашу оригинальную технологию, Minimal Acetone-IPA Cleaner использует обычный метод спинового покрытия для достижения процесса очистки 0,5-дюймовой поверхности подложки ацетоном и IPA (изопропиловый спирт).
• Система подачи и контроля ацетона сверхмалого количества позволяет очень точно контролировать подачу обрабатывающей жидкости, такой как жидкость для очистки и жидкость для травления.
• Функция автоматической подачи IPA.
• Технологическая зона обработки подложки представляет собой закрытую камеру с экологическим контролем.
• Вредные выхлопные газы, образующиеся в процессе обработки, обезвреживаются внутри оборудования.

Литература:
1. Shiro Hara, SEAJ Journal 2014, 4 No. 145, p.20.
2. Norio Umeyama, Atsushi Yamazaki, Takaaki Sakai, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara, Development of a Half-Inch Wafer for Minimal Fab Process, IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference Proceedings of Technical Papers, 2017, P-25, p.228.