Minimal Water Plasma Asher

Minimal Water Plasma Asher - Установка плазменного влажного травления и удаления фоторезиста.

Рис. 1. Пример полного удаления фоторезиста за 10 сек облучения водяной плазмой.
Рис. 2. Схема установки плазменного влажного травления и удаления фоторезиста Minimal Water Plasma Asher.

Литература:
1. Takuya Kitano, Takuya Ito, Hiroaki Suzuki, Tatsuo Ishijima, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara. Development of Water Plasma Asher Equipment for Minimal FAB. Proceedings of the 63rd JSAP Spring Meeting, 2016 19p-S423-2.
2. Takuya Kitano, Hiroaki Suzuki, Arufua Shiota,Tatsuo Ishijima, Yasunori Tanaka, Yoshihiko Uesugi, Sommawan Khumpuang, Shiro Hara. Investigations of the Mechanism of Photoresist Removal in Water Plasma Ashing. 2Proceedings of the 77th JSAP Autumn Meeting, 2016, 16p-B10-6.