TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Minimal Fab на территории России, странах СНГ и Европе
RU | EN
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЛИНИИ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Технология Minimal

Компактные полупроводниковых линий имеют единое стандартное шасси в формате Minimal размером 300мм Х 450мм Х 1440мм (ШхГхВ), роботизированную систему загрузки подложки, систему управления и способ подключения для всех устройств:

(1) Интерфейс управления и управляющий компьютер.
(2) Место для загрузки контейнера Minimal Shuttle.
(3) Система PLAD для извлечения подложки из капсулы и перемещения внутри устройства.
(4) Блок технологического процесса и хранения расходных материалов.
(5) Блок внешнего подключения.
(6) Блок утилизации расходных материалов.

Унифицированный способ внешнего подключения для всех устройств Minimal:

Для всех модулей Minimal была разработана роботизированная, унифицированная транспортная система загрузки подложки PLAD (Particle Lock Air-tight Docking – система герметичной стыковки и блокировки частиц).

В зависимости от типа оборудования и технологического процесса существуют два типа загрузочных систем PLAD: атмосферного и высоковакуумного типа.

Оборудование Minimal Fab не требует чистых комнат. Вместо этого, подложку помещают в безопасный контейнер с чистой комнатой внутри (называемый «Minimal Shuttle») и загружают в камеру технологического процесса с помощью загрузочной системы PLAD. Таким образом при переходе из одного технологического оборудования в другому подложка всегда остается в чистой комнате, т.е. в контейнере.

Прозрачный красный материал контейнера Minimal делает подложку видимой и защищает от ультрафиолетового излучения.

Для всех технологических процессов используется один тип контейнера. В случае процессов корпусирования, контейнер Minimal отличается лишь диаметром столика держателя подложки.

Перечень доступных подложек для технологии Minimal Fab: Si, кремний на изоляторе SOI, GaAs, GaN, Ga2O3, сапфир, алмаз, кварц, боросиликатное стекло.
Футляр для транспортировки на 40 подложек.
Лоток для подложек на 60 штук.
Ручной открыватель для контейнера Minimal.
Держатель для очистки подложек на 40 штук.