Minimal Wafer Surface Scanner
Minimal Wafer Surface Scanner - Установка измерения количества мелких частиц на пластине. Минимальный размер частиц: ?0,1 мкм.
Описание:
- Сканирование и отображение в реальном времени на сенсорном дисплее.
- Проверка работы дисплея.
- Простое управление и быстрая работа.
- Метод сканирования: спиральное сканирование.
- Время измерения: в течение 1 минуты, включая транспортировку.
- Воспроизводимость измерений: 90% и более.
- Минимальный определяемый размер частиц: 0,1 мкм.
- Лазер: полупроводниковый лазер 405 нм, 120 мВт или менее (класс 3B).
Общий вид измерительной части.
Пример результата измерения.
Литература:
1. Naoko TAJIMA, Sommawan KHUMPUANG, Shiro HARA, Kenjiro IIDA, Kensei EHARA, Hiromu SAKURAI. A Procedure for Making Particle Number Standard Wafers: Calibration of Wafer Surface Scanners. Earozoru Kenkyu, 31(4), 266–277.